歐瑞康萊寶公司的DRYVAC系列螺桿式無油壓縮真空泵,專為真空應用的特殊需求而開發(fā),適用于太陽能、平板顯示、LED、加工工業(yè)等應用。干式螺桿結(jié)構的氣路短且簡單,工藝氣體在泵內(nèi)停留時間短,工藝氣體夾雜的粉塵顆粒等在泵內(nèi)沉積的可能性大大減小,提高了泵運行穩(wěn)定性。DRYVAC全系為水冷泵,尺寸非常緊湊,系統(tǒng)集成性好,方便與萊寶的WH/WSU/WAU系列羅茨泵集成為泵組。
主要技術參數(shù):
抽速:450~5000m3/h
極限真空度:<0.005mbar
電機功率:11~30KW
噪音:65dB(A)
冷卻方式:水冷
主要特性及優(yōu)點:
1、泵為*密封結(jié)構,對外只有無磨損的O圈靜密封,消除泄漏可能,適用于敏感性工藝。
2、尺寸緊湊,占地面積小高度低,進氣口三個方向可選,非常方便集成入整體系統(tǒng)/設備中。
3、優(yōu)化的螺桿/電機設計,使其成為目前市場上zui省電的螺桿泵,低于10mbar運行<7Kw(DV650)。
4、泵為變頻器控制,集成了溫度、排氣壓強、電流、吹掃氣壓力等監(jiān)控保護,提高運行可靠性。
5、水冷泵向環(huán)境散熱少,噪音低,操作簡單。
6、極少的維護保養(yǎng)需求和運行成本,zui大的可靠性、靈活性和系統(tǒng)正常運行時間。
典型應用:
薄膜太陽能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.
晶硅太陽能——PECVD,拉晶和鑄錠
進出片室LL&ULL
顯示器和玻璃鍍膜
耐磨涂層技術
卷繞鍍
真空爐和熱處理
真空干燥
電子束焊接
空間模擬
科研領域
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