歐瑞康萊寶推出全新一代磁懸浮分子泵Magintegra系列:
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、智能化,一體化
易于安裝,便于與系統(tǒng)集成
2、抽速大,排氣量大
適合快速抽空和PVD等應(yīng)用
3、全新5軸定位磁懸浮軸承
堅(jiān)固耐用,免維護(hù)
4、*無油
獲得潔凈高真空
5、抽速300 l/s到2200 l/s
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