日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U30H維修特點(diǎn)
適用于大型成膜裝置、太空艙等。
擁有的排除水蒸汽的性能。
外形尺寸 (單位:mm)
日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U30H維修標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
排氣速度(20℃) | 氮?dú)?/span> | L/s | 28,000 |
氫氣 | 43,000 | ||
氬氣 | 23,000 | ||
水 | 70,000 | ||
到達(dá)壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.7×103(20) |
氫氣 | 7.4×102(5.6) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 7.8×108(5.9×106) |
氫氣 | 1.5×107(1.1×105) | ||
冷卻降下時(shí)間 | min(Hz) | 240/200(50/60) | |
吸氣口法蘭 | VG-750 | ||
壓縮機(jī)裝置 | C30VR×2 | ||
質(zhì)量 | Kg | 175.0 | |
*維護(hù)間隔：16,000小時(shí)
U22H,U30是在貿(mào)易管理法規(guī)定中屬于戰(zhàn)略物資的出口管制品。
在出日本國(guó)境時(shí)請(qǐng)務(wù)必辦理日本政府的出口許可申請(qǐng)等手續(xù)。
蘇州昆山太倉(cāng)無(wú)錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江日本愛發(fā)科真空計(jì)、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U30H維修、愛發(fā)科真空泵油R-7、R-4
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