STP-XA3203C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能,并提高所有氣體的吞吐量。
此泵基于新的平臺設計,提供各種功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。
其出色的性能既適用于溫和的應用環(huán)境,也適用于嚴苛的環(huán)境,例如半導體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修
良好的轉(zhuǎn)子設計
增強的 H2、N2 和 Ar 性能
改進了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內(nèi)的性能
免維護
5 軸磁懸浮系統(tǒng)
無污染
低振動
創(chuàng)新性轉(zhuǎn)矩管理
獲得轉(zhuǎn)矩減少機械裝置
優(yōu)化的溫度管理系統(tǒng)
高溫 TMS 能力
低沉積
內(nèi)置冷卻機械裝置
更高的氣體吞吐量(加熱和未加熱)
延長壽命
可用于嚴苛制程英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修
認證
符合 SEMI®,具有 CE 標記,列于 UL 中
入口法蘭 | ISO320F |
抽速 | |
N2 | 3200 ls-1 |
H2 | 2300 ls-1 |
壓縮比 | |
N2 | >108 |
H2 | >6 x 103 |
極限壓力 | 10-7 Pa |
大允許前級壓力 | 266 Pa |
大允許氣體流量 | |
N2(水冷卻) | 2300 sccm |
(3.8 Pam3s-1) | |
Ar(水冷卻) | 1900 sccm |
(3.2 Pam3s-1) | |
額定速度 | 27500 rpm |
啟動時間 | 8 min |
固定位置 | 任何方向 |
水冷卻 | |
流量 | 3 lmin-1 |
溫度 | 5-25 °C (41-77 °F) |
壓力 | 0.3 MPa |
推薦的吹掃氣體流量 | 50 sccm |
(8.4 x 10-2 Pam3s-1) | |
輸入電壓 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
功耗 | 1.5 kVA |
泵重量 | 80 kg (176 lb) |
控制器重量 | 12 kg (26.4 lb) |
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如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修
紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修
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荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修
濟南青島威海德州連云港昆明九江安慶英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修
一、進口真空泵維修:
1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、進口真空泵配件銷售:
1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進口真空油銷售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。
昆山熙日機械設備有限公司
電話:86-0512-36687634
傳真:86-0512-36687634
地址:江蘇省昆山市陸家鎮(zhèn)友誼路290號
郵編:215000